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功能特点
FUNCTIONAL CHARACTERISTICS

System Features
SYSTEM CHARACTERISTICS

无紫外线封闭空间:
提供安全的实验环境,避免紫外线对人体和实验材料的损害。
模块化设计:
各模块功能明确,操作简单,便于学生快速掌握芯片制造的基本流程。
快速高效:
从硅片处理到芯片成型,整个过程仅需十几分钟,适合教学实验的快速
需求。
安全可靠:
设备设计符合实验室安全标准,操作过程安全,适合学生使用。
教学友好:
适用于制作简易微米级教学芯片,帮助学生直观理解芯片制造工艺。

充分满足教学需求,性价比优势明显。
产品自带洁净环境,提供一个无紫外线的封闭空间,无需额外建设超净间,对使用环境适应性强,场地要求与成本低。
试剂安全、实验速度快、成本低、普及性高。
设备尺寸空间升级,可容纳更多学生操作。
学生可以自主设计实验方案,探索新的实验方法和工艺。
集成了匀胶、光刻、刻蚀、显影、掺杂等关键工艺,
让学生自己动手做芯片。

主要技术参数及规格

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