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功能特点
FUNCTIONAL CHARACTERISTICS

System Features
SYSTEM CHARACTERISTICS

无紫外线封闭空间:
室内顶装FFU送风和照明灯,提供安全黄光照明与洁净送风。
模块化设计:
各模块功能明确,操作简单,便于学生快速掌握芯片制造流程。
快速高效:
从硅片处理到芯片成型,全程仅需十几分钟,满足教学节奏。
安全可靠:
设备符合实验室安全标准,设有状态指示灯,实时显示运行、
故障、待机等工况。
教学友好:
设备符合实验室安全标准,设有状态指示灯,实时显示运行、
故障、待机等工况。

精准定位:
专为核心教学场景设计,集成安全、高效与易管理特性。
安全保障:
无紫外线封闭结构,内置FFU实现洁净环境与安全照明。
智能管理:
设备状态/门禁状态提示、过程录播及远程交互功能  
教学价值:
专为毫米级教学芯片优化

主要技术参数及规格

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